勻膠機(jī) 型號： SC/1B

技術(shù)指標(biāo)及配置：
　　1. 用于Φ5至Φ100mm硅片及其它材料等勻膠
　　2. 采用變頻器控制電機(jī)轉(zhuǎn)速，可實現(xiàn)均勻調(diào)速。轉(zhuǎn)速及其勻膠時間分別設(shè)置，可同時輸入七組數(shù)值，即轉(zhuǎn)速及勻膠時間可任意設(shè)置為Ⅰ檔、Ⅱ檔、……Ⅶ檔，從而達(dá)到啟動后先低速運(yùn)轉(zhuǎn)(Ⅰ檔)，然后自動執(zhí)行Ⅱ檔、……直至達(dá)到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)速設(shè)置范圍: 300轉(zhuǎn)/分(或更低) ～ 8000轉(zhuǎn)/分勻膠時間設(shè)置范圍: 1～3600秒。
　　3. 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1%
　　4. 膠的均勻性：±3%
　　5. 電機(jī)功率：90W
　　6. 樣片托： 1吋、2吋各一個
　　7. FY-1 機(jī)泵一個(0.5升/秒)
　　8.整機(jī)重量：9公斤

烘膠臺 智能烘膠臺  型號：BP/2B

產(chǎn)品主要用于光刻工藝中的前烘和堅膜。本產(chǎn)品具有烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點，可長時間連續(xù)穩(wěn)定工作。本產(chǎn)品操作方便、穩(wěn)定性高，具有較高的性能價格比，可廣泛應(yīng)用于科研和生產(chǎn)。
烘膠板材料不銹鋼
烘膠板規(guī)格ø200mm
烘烤溫度≤200℃
控溫精度±2℃
控溫形式采用溫控儀PID調(diào)節(jié)（功率調(diào)節(jié)），自動測溫，控溫
外形尺寸280×360×220mm